卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺(tái)。具有高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu)，工作過(guò)程沒(méi)有摩擦，無(wú)灰塵產(chǎn)生，沒(méi)有爬行現(xiàn)象。產(chǎn)品尺寸較多，可以根據(jù)需要靈活選擇，該系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對(duì)于精密位移亞微米級(jí)調(diào)整有需求的客戶。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-04-29

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品咨詢 13810146393

產(chǎn)品分類Product Categories

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卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列產(chǎn)品概述

說(shuō)明：

QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺(tái)。該系列滑臺(tái)具有高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu)，工作過(guò)程沒(méi)有摩擦，無(wú)灰塵產(chǎn)生，沒(méi)有爬行現(xiàn)象。直線電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，齒槽小，分辨率高，輕松實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位需求。產(chǎn)品尺寸較多，可以根據(jù)需要靈活選擇，QF 系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對(duì)于精密位移亞微米級(jí)調(diào)整有需求的客戶。臺(tái)面多種標(biāo)準(zhǔn)孔位的安裝孔適合不同需要，下方標(biāo)準(zhǔn)固定孔方便將其與其他滑臺(tái)連接，組成多維移動(dòng)臺(tái)。

特點(diǎn)：

· 采用氣浮靜壓導(dǎo)軌，運(yùn)動(dòng)無(wú)爬行，直線度好，負(fù)載可控制，穩(wěn)定性好；

· 采用直線電機(jī)，微步能力好，驅(qū)動(dòng)力可控，速度穩(wěn)定；

卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列命名規(guī)則：

QF 25-300 S-BNA

QF 系列代碼：

QF:單軸空氣軸承類滑臺(tái) QFD:XY組合空氣軸承類滑臺(tái)

QFH:龍門組合空氣軸承類滑臺(tái)

25 臺(tái)面寬度：

25:250mm 30:300mm

300 有效行程：

100:100mm 200:200mm

300:300mm

S 基座材質(zhì)：

A:鋁合金

S:大理石

C:碳化硅

B 分辨率：

1:0.1 μm S:50nm

B:20nm

N 電機(jī)類型：

N:無(wú)鐵芯

M:有鐵芯

A 臺(tái)面材質(zhì)：

A:鋁合金

T:其它

以上命名規(guī)則除技術(shù)規(guī)格列表內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，其余配置請(qǐng)聯(lián)系銷售進(jìn)行定制。

QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)選項(xiàng)表

型號(hào)	QF25-100A-BNA	QF25-200A-BNA	QF25-300A-BNA	QF25-400A-BNA
臺(tái)面尺寸(mm)	245x200(運(yùn)動(dòng)方向)
厚度(mm)	120
移動(dòng)量(mm)	100	200	300	400
光柵尺分辨率(nm)	20
驅(qū)動(dòng)方式	無(wú)鐵芯直線電機(jī)
導(dǎo)軌	一體式靜壓導(dǎo)軌
雙向重復(fù)精度(μm)	0.4
無(wú)*正定位精度(μm)	1.2
直線度(μm)	2	2.5	3	3
俯仰(arcsec)	4.5
偏擺(arcsec)	2.1
主體材料及表面處理	鋁合金，黑色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化處理
中心負(fù)載(Kg)	10/μm

型號(hào)	QF25-400S-BNA	QF25-500S-BNA	QF25-600S-BNA	QF25-800S-BNA
臺(tái)面尺寸(mm)	290x200(運(yùn)動(dòng)方向)
厚度(mm)	189
移動(dòng)量(mm)	400	500	600	800
光柵尺分辨率(nm)	20
驅(qū)動(dòng)方式	無(wú)鐵芯直線電機(jī)
導(dǎo)軌	氣浮腳式靜壓導(dǎo)軌
雙向重復(fù)精度(um)	0.3
無(wú)*正定位精度(μm)	1.2
直線度(μm)	2	3	5	5
俯仰(arcsec)	2
偏擺(arcsec)	2
主體材料及表面處理	大理石，鋁合金
中心負(fù)載(Kg)	15/um

說(shuō)明：

1.以上測(cè)試數(shù)據(jù)在使用TMC-NET-2L 控制系統(tǒng)下，采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下，采用等級(jí)為VC-C 環(huán)境下隔振系統(tǒng)所測(cè)試；

2.測(cè)試用氣體0.5MPa 壓縮空氣，做過(guò)濾和除水工藝；

3.測(cè)試環(huán)境介于萬(wàn)級(jí)~十萬(wàn)級(jí)潔凈空間內(nèi)；

4.測(cè)試溫度20±1℃,濕度40~60%。

特點(diǎn)和選型指導(dǎo)

項(xiàng)目	xxxA	xxxS	xxxC
材質(zhì)	鋁合金	大理石	碳化硅陶瓷
導(dǎo)軌長(zhǎng)度(mm)	200~800	400~3000	400~2000
外形尺寸(mm)	超小~中	中~超大	小、中、大
制作方式	機(jī)加工	磨削	燒制
重復(fù)精度(μm)	0.3	0.3	0.25
直線度(μm)	1~3	2~5	2~3
組合形式	X, XY(小)	X、XY、龍門	X、XY、龍門
造價(jià)(元)	1~10	5~100	50~1000